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ウエダ ヨシオ
Ueda Yoshio
上田 良夫 所属 追手門学院大学 理工学部 電気電子工学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 1999/07/20 |
| 形態種別 | 国内学会誌（その他） |
| 標題 | 反応性スパッタリング法により作成した立方晶窒化硼素薄膜の内部応力 |
| 執筆形態 | 共著・編著（代表編著を除く） |
| 掲載誌名 | 高温学会誌 |
| 巻・号・頁 | 25(4),6-6頁 |
| 著者・共著者 | 金井 久美子,若土 雅之,上田 良夫,西川 雅弘 |
| ISSN | 0387-1096 |
| NAID | 10004659582 |