ウエダ　ヨシオ   Ueda Yoshio   上田　良夫    所属   追手門学院大学  理工学部 電気電子工学科    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011/05/20
形態種別	論文
査読	査読あり
標題	高圧ヘリウム/窒素混合プラズマによる窒化アルミの形成
執筆形態	共著・編著（代表編著を除く）
掲載誌名	高温学会誌
掲載区分	国内
巻・号・頁	37(3),9-10頁
著者・共著者	大塚 裕介,西窪 明彦,上田 良夫
ISSN	0387-1096
NAID	10029059489