ウエダ　ヨシオ   Ueda Yoshio   上田　良夫    所属   追手門学院大学  大学所属    職種   教授
研究期間	2018/06/29～2020/03/31
研究課題	ヘリウムプラズマプロセスによる繊維状金属ナノ構造を用いた高精度ガスセンサ開発
実施形態	科学研究費補助金
採択フラグ	採択
研究委託元等の名称	日本学術振興会
研究種目名	挑戦的研究(萌芽)
研究機関	大阪大学
代表分担区分	研究代表者
研究者・共同研究者	上田 良夫,伊庭野 健造,Lee HeunTae
概要	ヘリウムプラズマを金属に照射することによる形成されるナノ繊維構造をガスセンサに応用することを試みた研究である。ナノ繊維構造は大きな表面積を持つため、表面反応に起因するセンシングメカニズムを持つセンサとして大きな可能性があるがこれまで全くこの様な試みは行われていない。 本研究では、ヘリウムプラズマ照射によって形成したタングステンのナノ繊維構造を乾燥空気中で熱酸化し、金電極を蒸着して抵抗測定型のセンサを試作した。このセンサで水素ガスの検出を試みたところ、水素濃度10 ppmまで高い検出感度を持つことがわかった。この感度は現在の高感度水素ガスセンサに匹敵し、ガスセンサとして新たな領域を開拓できた。
PermalinkURL	https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18K18751